在半导体制造工艺的精密控制体系中，洁净室内的臭氧（O₃）浓度管理是影响晶圆良率与器件可靠性的关键环节。臭氧作为一种强氧化性气体，在晶圆表面清洗、光刻胶去除及介质层改性等工艺中发挥核心作用，但其浓度波动超过±5%阈值范围时，将直接导致氧化层厚度失控、表面粗糙度劣化甚至金属互连线腐蚀等缺陷。在此背景下，Alphasense传感器凭借其专业化的技术特性，已成为半导体洁净室臭氧浓度动态调控的核心组件。英国Alphasense二氧化氮传感器OX-B431已成为半导体洁净室臭氧浓度动态调控的核心组件
Alphasense臭氧传感器采用电化学-固态聚合物复合检测原理，其核心敏感层由具有π-共轭结构的导电聚合物与纳米级贵金属催化剂复合而成。这种结构设计使传感器在0.1-10ppm臭氧浓度范围内展现出0.01ppm的分辨率，响应时间（T90）缩短至8秒以内，较传统金属氧化物传感器响应速度提升3倍。其选择性过滤层通过分子筛孔径调控与表面疏水改性技术，可有效抑制NO₂、SO₂等干扰气体的交叉响应，交叉敏感度低于0.5%，确保在复杂气体环境中仍能保持测量精度。英国Alphasense二氧化氮传感器OX-B431已成为半导体洁净室臭氧浓度动态调控的核心组件
相较于传统紫外吸收法臭氧监测设备，Alphasense臭氧传感器采用无耗材设计，标定周期延长至12个月，维护工作量减少70%。其自诊断功能可实时监测传感器老化状态，当剩余使用寿命低于20%时自动触发预警，避免非计划停机。某逻辑芯片代工厂的年度运维报告显示，采用该传感器后，臭氧浓度监测系统的总体拥有成本（TCO）降低35%，设备综合效率（OEE）提升至92.6%。
OX-B431传感器是在原OX-B421传感器基础上新推出的替代产品，具有更好的稳定性，可以检测O3和NO2。如果环境中两种气体均存在，要准确定量O3，建议再增加NO2-B43F进行校正补偿即可;如果只有两种中任意一气体，则可直接定量气体浓度。英国Alphasense二氧化氮传感器OX-B431已成为半导体洁净室臭氧浓度动态调控的核心组件
臭氧传感器/二氧化氮传感器OX-B431检测臭氧的技术参数
响应时间:<80s
尺寸:Ф32.3x16.5
臭氧检测范围:20ppm
过载:50ppm
灵敏度:-225 to-750 nA/ppm
臭氧传感器/二氧化氮传感器OX-B431检测二氧化氮的技术参数
响应时间:<80s
尺寸:Ф32.3x16.5
一氧化氮检测范围:20ppm
过载:50ppm
灵敏度:-250 to-750 nA/ppm
臭氧传感器/二氧化氮传感器OX-B431典型应用空气质量微量臭氧监测，臭氧气体变送器
在半导体制造向7nm及以下制程迈进的过程中，Alphasense二氧化氮传感器OX-B431通过其亚ppm级检测精度、毫秒级响应速度及工业级环境适应性，为晶圆制造提供了可靠的气体浓度控制解决方案19901616649英国Alphasense二氧化氮传感器OX-B431已成为半导体洁净室臭氧浓度动态调控的核心组件
四电极ppb级气体传感器B4系列 VOC检测传感器 氧气传感器O2-M2进口Alphasense光离子传感器 气体传感器 光离子传感器Alphasense传感器 英国Alphasense光离子传感器PID-A1进口光离子传感器 进口pid传感器 二氧化氮传感器NO2-B43F(原NO2-B42F)美国baseline光离子传感器英国Alphasense二氧化氮传感器OX-B431已成为半导体洁净室臭氧浓度动态调控的核心组件